真空镀膜机的使用步骤

真空镀膜机的使用步骤

真空镀膜机需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且***终沉积在基片表面，经历成膜过程，***终形成薄膜。

　　真空镀膜机使用步骤：

　　电控柜操作

　　1. 开水泵、气源。

　　2. 开总电源。

　　3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

　　4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

　　5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

　　DEF-6B操作：

　　1. 总电源。

　　2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

　　3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

　　真空镀膜机关机顺序：

　　1. 关高真空表头、关分子泵。

　　2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

　　3. 到50以下时，再关维持泵。

　　适用范围：

　　1．建筑五金：卫浴五金（如水龙头）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。

　　2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品。

　　3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．

　　4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等。

　　5、不锈钢管和板（各种类型表面）

　　6、家具、灯具、宾馆用具。

　　7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜。

　　8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。